Словарь содержит около 10 тыс. терминов по основным разделам: конструкция и технология тонко- и толстопленочных микросхем и полупроводниковых интегральных схем, технологические процессы и оборудование для микроэлектроники, испытание и контроль полупроводниковых приборов и др.
В конце словаря даны указатели русских, немецких, французских и нидерландских терминов.

Словарь предназначен для переводчиков, инженерно-технических работников, студентов, аспирантов и преподавателей.